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电动高负载扫描台Scanner55-xy特点
• 紧凑的设计，外形尺? : 55*55*15 mm
• 超?真空 & 极低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
• ?磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 18 Tesla磁场
• ?负载 : 500 g
• ?程@300 K: 120*120 um
• 空间扫描达到 2 nm 分辨率
电动高负载扫描台Scanner55-xy尺?图
可选版本 ? | .HV (default) | .ULT | .UHV | .ULT.UHV |
.HV 版本, 默认产品; | ||||
.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使? | ||||
.UHV 版本, 兼容2E- 11 mbar | ||||
1 尺? | 55 × 55 mm × 15 mm | |||
| 2 重量 | 150g | |||
工作环境 | ||||
3 基础 | 温度范围 : 1.4 ~ 400 K 真空 : 2e-7 mbar 最?磁场 : 18 Tesla | |||
4 可选 1 - 30 mK | ? | ? | ||
5 可选2 - 2e- 11 mbar | ? | ? | ||
材料 | ||||
6 主体 | 纯Ti | 铍铜 | 纯Ti | 铍铜 |
7 线缆 | 磷铜双绞线, 20cm | |||
8 插针材料 | Polyster (glass T ber T lled), BeCu | Peek, BeCu | ||
9 插针数? | 每个扫描维度 2 pins | |||
运动参数 | ||||
10 扫描维度 | X, Y | |||
11 ?程@300 K | 120*120 um | |||
12 驱动电压 | Max. 75 V @300 K Max. 180 V @4 K | |||
13 最?负载 | 500 g | |||
14 电容@300 K | 7 uF | |||
15 分辨率 | 2 nm | |||
16 线性度误差 | Typical ~ 0.1 % | |||
17 可重复性 | < 10 nm | |||
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